| 項目 | 規格 | φ 8 inch限制條件 |
| 主加工物材料 | GaN 、SiC 、Sapphire | ← |
| Wire size | Max. φ 6inch × L300mm | Max. φ 8inch × L300mm |
| Wire芯線徑 | φ 0.10~0.18mm | ← |
| Wire速度 | Max. 2000m/min | ← |
| Stroke | Max. 220mm | Max. 215mm |
| 量角器調整範圍 | X ( 水平 ) ± 5度、Y ( 垂直 ) ± 2度 | X ± 0.4度、Y ± 1.6度 (Ingot 長100mm時) |
| 量角器調整精度 | ± 0.005度 ( 0.3分 ) | |
| 搖動角度 | ± 15度 | ± 7度 |
| Main roller直徑× 軸數 | φ 220mm(~φ200mm) × 2軸 | φ 220mm(~φ210mm) |
| Wire存線量 | φ 0.25mm-100km | ← |
| 最大Wire張力 | 50N | ← |
| Cooler tank容量 | 200L | ← |
| 裝置尺寸 | W1700mm × D3600mm × H2885mm | ← |
| 設備重量 | 9 ton | ← |
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