產品

Mounter

產品介紹

項目 規格
Ingot直徑 φ6inch~φ12inch (※１)
Ingot長 L 50~300 mm (※２)
結晶方位測定範圍 ± 5度　(對應4度off品)
結晶方位接著範圍 ± 2度
接著測定精度 ± 2分以下
Throughput 接著裝置1台時　　　　　　　　   8 ingots/day (※3)
構成裝置台數・重量 接著裝置　　　　　　　　　　　 1~4台   2.8ton/台
X線裝置　　　　　　　　　　　  1台       2.2ton/台
預備加熱・反轉旋回裝置 　　　　1台       1.5ton/台
搬入出裝置 　　　　　　　　　　1台       0.7ton/台
Gantry Loader　　　　　　　　  1台       3.0ton/台
据付寸法(寬×長×高) W 3100 × L 10800 × H 2900 mm  (※4)
Utility 電源・Air・排氣
機械總重量 13.0 ton (※4)
  1. 只對應範圍內的單一直徑（±0.5mm）。無法對應異徑混流。如果有2種類以上直徑則需進行設定變更。
  2. Ingot 長度在50mm以下的話、結晶方位誤差可能會變大。
  3. 根據使用的接着劑而有不同。
  4. ​接着裝置2台的情況。


* 敝司亦提供手動的X線裝置--T-XG、接著裝置--T-GS.