X光檢查設備

ORC：UV YIELD INNOVATOR VUM-3500

通過照射紫外線以將元件能使之放出電荷，根據等離子以低溫進行電荷消除、去除介面電荷。
特別在Flash memory的製造工序上能夠保留良好的元件特性，可有效提高良率和可靠性，缺一不可的裝置。

特性：
1. Restores Vth in the flash memory / microcontroller
2. Reduces poor retention, endurance in the flash memory / microcontroller witch increases reliability
3. Restores characteristics of various transistors
4. Erasers data in nonvolatile memory such as EPROM